3．微电子学与固体电子学
　　微电子学与固体电子学是一门新兴的高科技学科，是国家重点发展的学科之一。微电子产业是与国民经济发展、人民生活水平提高、巩固国防密切相关的重要产业，是衡量一个国家综合国力的重要标志。
　　从事本学科研究的师资队伍共8人，其中教授2名，副教授3名。主要研究方向包括微电子机械系统及微集成传感器技术、集成电路与系统的设计、制造和测试、系统集成芯片设计方法学研究和应用、集成电路计算机辅助设计、半导体工艺/微电子薄膜及其在固态器件中的应用、微电子机械和集成传感器研究。
　　本学科在物理学报、电子学报、无机材料学报、中国激光等国内外期刊上发表学术论文30余篇，其中被SCI、EI收录的达10余篇。