10%氦气/氮气工艺吹扫、TGM报警、氨、氟环境监测报警、消防水喷淋、排风(酸碱性排风系统分开)、火灾声光报警、shut down 按钮、劳动防护用品专柜。
一氧化碳(CO) 3
二氯硅烷(SiH2Cl2) 1
二氟甲烷(CH2F2) 1
50ppm乙硼烷/氢气(B2H6/H2) 1
氟甲烷(CH3F) 2
100ppmB2H6/N2 1
5% B2H6/N2 2
100ppm乙硼烷/氢气(B2H6/H2) 2
10%氨气/氮气 1
C4F6 1
3腐蚀性气体室 Cl2 2
10%氦气/氮气工艺吹扫、TGM报警、消防水喷淋(ClF3无)、排风、火灾声光报警、shut down 按钮、劳动防护用品专柜。
ClF3 2
HBr 2
HCl 11
SiF4 1
4氧化气体室 NF3 9
10%氦气/氮气工艺吹扫、TGM报警、消防水喷淋、酸性排风、火灾声光报警、shut down 按钮、劳动防护用品专柜。
N2O 7
30%O2/He 6
5 惰性气体室 1.2%He+N2 1
10%氦气/氮气工艺吹扫、TGM报警、消防水喷淋、排风、火灾声光报警、shut down 按钮、劳动防护用品专柜。
C4F8 2
CHF3 1
C2F6 1
CO2 1
CF4 2
CHF3 2
SF6 2
He 1
4%H2/N2 1
6 酸室 HCl CDM 1
设排风系统、收集井、吸收棉、双套管输送、内设泄漏报警侦测器、PEH在线型火灾声光报警装置，自动水喷淋装置。
BOE CDM 1
HF CDM 2
NOE CDM 1
HNO3 CDM 1
H3PO4 CDM 1
H2SO4 CDM 2
HF100:1 CDM 1
7 Base Room
(碱室) NH4OH 1